速度又高质量又好的聚酰亚胺化铣工艺 |
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引用本文: | 钟守仁.速度又高质量又好的聚酰亚胺化铣工艺[J].宇航材料工艺,1983(2). |
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作者姓名: | 钟守仁 |
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摘 要: | 杜邦公司已经搞出一种化学铣切聚酰亚胺薄膜的新工艺。其浸蚀速率要比标准的快40—50倍。据该公司研究化学家凯茨披露,由于大大加速了浸蚀速度。现在有可能把化铣作为在5密耳厚的聚酰亚胺薄膜上穿孔的实用方案。 该公司声称,这种新工艺改善了镀通孔的质量,因为它形成更光滑的孔并提高了浸蚀精度。例如浸蚀包铜的聚酰亚胺薄膜就可以减少
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