日本东北大学衍射光栅刻划工艺现状

本文介绍了作者在1988年～1989年间作为访问学者,到日本东北大学科学计测研究听软X射线光学应用计测研究室光学素子研究组进行访问学习。在波冈武教授、高岛幸史助教授的指导下所从事的有关衍射光栅刻划工艺方面的工作。