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| 微机电系统MEMS仿真与建模 | |
| 引用本文： | 杨雪君.微机电系统MEMS仿真与建模[J].西安航空技术高等专科学校学报,2011,29(5):52-54. |
| 作者姓名： | 杨雪君 |
| 作者单位： | 黄冈职业技术学院机电学院,湖北黄冈,438002 |
| 摘 要： | 微机电系统是源于微电子加工技术,融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。微机电系统融合了力、电、流体、光、磁、热等多个物理域,随着建模与仿真技术的迅速发展,研究有关微机电系统建模与仿真的基本理论和方法。 |
| 关 键 词： | 微机电系统 微机械动力学 仿真与建模 |
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