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| 激光加工技术的地位,现状和发展趋势（下） | |
| 引用本文： | 徐庆仁.激光加工技术的地位,现状和发展趋势（下）[J].航空维修与工程,1996(10):16-17,21. |
| 作者姓名： | 徐庆仁 |
| 作者单位： | 中国航空信息中心 |
| 摘 要： | 激光加工技术的地位、现状和发展趋势（下）中国航空信息中心徐庆仁九、激光微调技术及其应用随着微电子技术的日益飞速发展，电子元器件日趋小型化，精度要求也越来越高。例如，模／数转换集成电路上的电阻的一致性要求很高，而且每个电阻的宽度只有几十微米。传统的工艺... |
| 关 键 词： | 激光加工 综述 |
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