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| 微机械技术与微传感器发展——21 世纪航天传感器技术展望 | |
| 作者姓名： | 魏世钧 |
| 作者单位： | 北京航天工业总公司七○四所 |
| 摘 要： | 论述了微机械技术对传感器发展的巨大推动作用及其在航天传感器上的应用前景，并介绍了微机械技术在传感器上近期应用研究的主要内容。 |
| 关 键 词： | 航天工程 传感器 微电机械技术 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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