物理气相沉积工艺及其在宇航工业中的应用 |
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引用本文: | 李承受
,刘继民.物理气相沉积工艺及其在宇航工业中的应用[J].宇航材料工艺,1984(2). |
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作者姓名: | 李承受 刘继民 |
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摘 要: | 引言材料、能源和信息工程是近代社会的三大支柱,而材料又是能源和信息工程的基础。研究、发展新材料,改进材料的质量和合理使用材料,目前集中到两个方面:一是研究材料的内部结构,如非晶、微晶、高完整性结晶等问题,另一个是研究材料的表面,如摩擦、磨损、硬化、防腐蚀、润滑等问题。后者涉及到表面物理、表面化学等许多学科理论和专门技
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