| 微传感器最新发展 |
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| 引用本文： | 黄俊钦,樊尚春,刘广玉.微传感器最新发展[J].航空计测技术,2003,23(1):1-8. |
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| 作者姓名： | 黄俊钦 樊尚春 刘广玉 |
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| 作者单位： | 北京航空航天大学测控技术与仪器系 北京100083
(黄俊钦，樊尚春)，北京航空航天大学测控技术与仪器系 北京100083(刘广玉) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (5 0 2 75 0 0 9)，航空科学基金资助项目 (0 2 I5 10 18) |
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| 摘 要： | 近年来，微传感器受到国际传感技术界的广泛关注，本文介绍十多个微传感器，包括三轴加速度计，单，双轴加速度计片，表面微机械陀螺（角速度传感器），微惯性导航系统，微磁通门传感器，磁阻传感器，纳米皮拉尼压力传感器，微科氏质量流量计，毫米波图像传感器，GPS手表（1cm^3)，二氧化碳传感器和微/超微角位移传感器，文事简要介绍它们的基本结构。敏感机理，特点等，从中可以看出微传感器已成为传感技术中有重要应用前景的组成部分。
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| 关 键 词： | 微传感器 压力 加速度 陀螺 质量流量 磁通门 图像传感器 毫米波 |
| 文章编号： | 1002-6061(2003)01-0001-08 |
| 修稿时间： | 2002年12月3日 |
The up-to-date Development of Microsensors |
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| HUANG Jun qin,FAN Shang chun,LIU Guang yu.The up-to-date Development of Microsensors[J].Aviation Metrology & Measurement Technology,2003,23(1):1-8. |
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| Authors: | HUANG Jun qin FAN Shang chun LIU Guang yu |
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| Abstract: | In recent years,much attention has been attracted on micro sensors.This paper introduces some aspects of novel development of microsensors.The following typical microsensors will be included:three axis accelerometer,single/dual axis accelerometer chip,surface micromachined gyroscope,micro inertia navigation system,micro magnetic flux gate sensor,micro magnetic resistance sensor,the nano Pirami pressure sensor,the micro coriolis force based mass flowmeter,a millimeter wave image sensor,GPS watch,CO 2(1cm 3)microsensor and micro/ultra micro angular displacement sensor.The essential sensing structure ,sensitiveness mechanism,and potential feature are introduced briefly.It is seen from the features and characteristics of the above microsensors that microsensors are already very important and useful parts of sensors |
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| Keywords: | microsensor pressure accelerometer gyroscope mass flow magnetic fluxgate image sensor millimeter wave |
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