比相法检测圆光栅的探讨

本文叙述了应用比相法检测圆光栅的原理和方法,并对相位计的静态特性和动态特性进行了分析。为克服比相法的缺点,还介绍了两种扩展了的比相法。这些对于圆光栅及其它圆分度元件的检测都有参考价值。