微系统集成技术发展与展望 |
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引用本文: | 单光宝,朱嘉婧,郑彦文,邢朝洋.微系统集成技术发展与展望[J].导航与控制,2022(Z1):20-28+5. |
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作者姓名: | 单光宝 朱嘉婧 郑彦文 邢朝洋 |
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作者单位: | 1. 西安电子科技大学微电子学院;2. 西安电子科技大学宽禁带半导体国家工程研究中心;3. 北京航天控制仪器研究所 |
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摘 要: | 微系统已成为推动国民经济发展和保障国家安全的基础性、战略性、先导性支撑产业,军民领域电子信息系统多功能、高性能、小型化的发展趋势对微系统集成技术提出了更高要求。综述了硅基、玻璃基、陶瓷基、柔性基等多种微系统集成技术,介绍了各类集成技术的典型应用领域、存在的技术挑战以及解决方法,并对各类微系统的特点进行了对比与讨论。最后,对各类微系统集成技术进行了总结、对比,并展望了微系统集成技术的发展方向。
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关 键 词: | 微系统 集成技术 硅基 陶瓷基 玻璃基 柔性基 |
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