三十年不断发展的MEMS惯性传感器

近三十年来，MEMS惯性传感器技术取得了巨大进步，在人类生活、工业和高端装备等方面得到了广泛应用。概述了MEMS惯性传感器在我国的发展历程与主要路线，并以车辆辅助驾驶为例，总结了国内外MEMS惯性传感技术的快速发展与典型应用情况，研判了MEMS惯性传感器正在向高可靠、集成化、高融合与智能化等方向加速发展。