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CVD金刚石──上乘的衬底材料
引用本文:
方次尹.CVD金刚石──上乘的衬底材料[J].航空精密制造技术,1995(6).
作者姓名:
方次尹
摘 要:
CVD金刚石──上乘的衬底材料功率电子MCM(多芯片组件).工作中热负荷严重,可高达数十W或数百W,这给系统不断小型化带来了困难。美国的Sandia国家实验室,开发了用CVD金刚石作为MCM的衬底,较好地解决了这个问题。用CVD法制得的人造金刚石的导...
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