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微机械电子技术
引用本文:
李梅,吴明根.微机械电子技术[J].航空精密制造技术,1991(4).
作者姓名:
李梅
吴明根
摘 要:
本文综述了国外微机械电子技术的研究、发展和应用状况。并分析了该技术的发展前景。自动化、超精密加工、微机械电子技术是机械电子工业发展的三个方向。自动化技术和超精密加工技术已经得到了普遍的认识,并已进行了大量的试验研究。而作为与超精密加工技术相衔接的微机械电子技术则是一门刚刚开始研究的新课题。它是
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