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探针校准用ECR等离子体源特性试验研究
引用本文:
邓星亮,张书锋,贾军伟,柴昊,王斌,高婷,李鹏,崔爽,李峥,郎昊,刘展.探针校准用ECR等离子体源特性试验研究[J].航天器环境工程,2020,37(6):602-609.
作者姓名:
邓星亮
张书锋
贾军伟
柴昊
王斌
高婷
李鹏
崔爽
李峥
郎昊
刘展
作者单位:
北京东方计量测试研究所,北京 100086;北京空间机电研究所,北京 100076
摘 要:
关 键 词:
等离子体源
特征参数
重复性
均匀性
稳定性
试验研究
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