| 光学基片表面软质抛光胶体粒子的激光清洗 |
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| 引用本文： | 史兴宽,徐传义,任敬心,王健,巴瑞璋.光学基片表面软质抛光胶体粒子的激光清洗[J].航空精密制造技术,2000,36(3):12-15. |
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| 作者姓名： | 史兴宽 徐传义 任敬心 王健 巴瑞璋 |
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| 作者单位： | 1. 西北工业大学精密超精密加工技术研究室,西安 7100722
2. 北京航空工艺技术研究所,北京 100024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，航空科研项目，西北工业大学校科研和教改项目，，，，，， |
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| 摘 要： | 介绍了光学基片表面软质抛光胶体粒子激光清洗的基本方法、原理和实验装置,并通过对含有污染微粒的基片表面进行激光清洗,获得了高洁净表面的光学基片.
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| 关 键 词： | 光学基片 软质胶体粒子 激光清洗 抛光表面 optical substrate soft colloid particle laser cleaning |
| 文章编号： | 1003-5451(2000)03-0012-04 |
| 修稿时间： | 1999年11月29 |
Laser Cleaning of Soft Colloid Particles on Optical Substrates Surface |
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| Shi xing-Kuan, Xu Chuan-yi, Ren Jing-xin et al.Laser Cleaning of Soft Colloid Particles on Optical Substrates Surface[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2000,36(3):12-15. |
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| Authors: | Shi xing-Kuan Xu Chuan-yi Ren Jing-xin |
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| Abstract: | In this paper,the preliminary method,principle and test equipment of laser cleaning are mainly introduced,and high cleanness surface is obtained by means of laser cleaning the contaminated particles on optical substrate surface. |
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| Keywords: | optical substrate soft colloid particle laser cleaning polished surface |
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