毫米波缝隙天线阵面光刻工艺 |
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引用本文: | 夏春华,薛海龙.毫米波缝隙天线阵面光刻工艺[J].航天制造技术,1998(6):17-19. |
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作者姓名: | 夏春华 薛海龙 |
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作者单位: | 北京遥感设备研究所 |
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摘 要: | 毫米波主动导引头缝隙天线阵面,具有面积大、缝隙数量多、精度高的特点,制造这样的缝隙天线阵面,在国内尚属首次。本文着重对缝隙天线阵面的光刻工艺进行了分析,对光刻工艺方法研制缝隙天线阵面的技术途径、工艺实验的结果和存在的主要问题进行了论述。
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关 键 词: | 毫米波,缝隙天线阵面,光刻工艺 |
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