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| 精密可控微位移器实验研究 | |
| 作者姓名： | 芮小健 张幼桢 颜景平 钟秉材 |
| 作者单位： | 南京航空航天大学，东南大学 |
| 摘 要： | 介绍了微位移器的静、动态特性，实验结果表明：ＩＰ１型微位移器线性度可达０．１２％，重复精度为０．０１μｍ。还比较了ＩＰ１型和ＥＬＳ１型微位移器的性能区别供应用选择时参考． |
| 关 键 词： | 压电陶瓷；微位移器；特性 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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