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| 纳米激光偏振干涉仪(续) | |
| 引用本文： | 张蕴玉.纳米激光偏振干涉仪(续)[J].宇航计测技术,1988(6). |
| 作者姓名： | 张蕴玉 |
| 作者单位： | 航天部第一计量测试研究所 |
| 摘 要： | 纳米激光偏振干涉仪的主要用途是检定分辨率高于0.01μm 的电感、电容测微仪。因此,微位移部件的位移量的微小程度非常关键,它可决定仪器的灵敏阈。另外,还应考虑仪器的测量范围。兼顾这两个方面,在设计 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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