使用调制后的综合差分光学传感的微机械加速度计的比较性研究

本论文讲述了一种新型微机械加速度计的装配和特性，这种加速率计使用了一种新的传感技术，用调制后的综合差分光学传感（MIDOS），以探测它们检测质量的位移输出，此文讲述了混合电路装置的装配过程，这个装置由一个由铟撞击一个含有光电探测器的一个CMOS集成电路片而连接的总的微型机械部分和数字显示装置的电子线路组成，且装配了一些光电元件，并赋予它们特性。本文仔细讨论了光电元件间的差异以及它们测量特性间的比较（噪音等效加速度（NEA），带宽和线性），光电元件演示了带宽1KHz-4KHz，范围70（ug/√Hz)-1(mg/√Hz）的噪音等效加速度。