| 精密超精密加工技术在微机械制造中的应用 |
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| 引用本文： | 杨辉.精密超精密加工技术在微机械制造中的应用[J].航空精密制造技术,2006,42(1):1-4. |
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| 作者姓名： | 杨辉 |
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| 作者单位： | 北京航空精密机械研究所,北京,100076 |
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| 摘 要： | 随着微机电系统的发展,微机械零件的材料应用领域不断扩大,结构形状也从二维、准三维提高到三维复杂结构,相应的微机械制造技术也随之发展,并在微机械零件制造中得到了应用。
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| 关 键 词： | 微机电系统 超精密加工 微机械制造 |
| 文章编号： | 1003-5451(2006)01-0001-04 |
| 修稿时间： | 2005年5月22日 |
Application of Ultraprecision Machining Technique in Micro Machinery Manufacturing |
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| YANG Hui.Application of Ultraprecision Machining Technique in Micro Machinery Manufacturing[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2006,42(1):1-4. |
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| Authors: | YANG Hui |
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| Abstract: | With development of the microelectromechanical system,the kinds of materials applying in the fields of the microelectromechanical parts have been expending.The structure of the microelectromechanical parts is developed from 2D dimensional and 3D dimensional to complex 3D dimensional structure,the microelectromechanical technology was developed and applied in micro machinery manufacturing. |
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| Keywords: | microelectromechanical system ultraprecision machining micro machinery manufacturing |
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