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两项计量标准中有关检定误差的分析与探讨
引用本文:马仕才.两项计量标准中有关检定误差的分析与探讨[J].航天标准化,1997(4).
作者姓名:马仕才
作者单位:0六二基地7140站
摘    要:通过对JJG101-86《接触式干涉仪检定规程》和JJG53-86《0.2μm立式光学计检定规程》规定的接触式干涉仪和0.2μm立式光学计的示值检定误差分析及其两种仪器的精度构成,探讨了用3等量块代替2等量块对这两种仪器进行示值检定。

关 键 词:接触式干涉仪  0.2μm立式光学计  示值误差  分析
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