两项计量标准中有关检定误差的分析与探讨 |
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引用本文: | 马仕才.两项计量标准中有关检定误差的分析与探讨[J].航天标准化,1997(4). |
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作者姓名: | 马仕才 |
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作者单位: | 0六二基地7140站 |
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摘 要: | 通过对JJG101-86《接触式干涉仪检定规程》和JJG53-86《0.2μm立式光学计检定规程》规定的接触式干涉仪和0.2μm立式光学计的示值检定误差分析及其两种仪器的精度构成,探讨了用3等量块代替2等量块对这两种仪器进行示值检定。
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关 键 词: | 接触式干涉仪 0.2μm立式光学计 示值误差 分析 |
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