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| 熔石英光学元件激光阈值提升仿真与工艺研究 | |
| 引用本文： | 田野彭小强石峰胡皓.熔石英光学元件激光阈值提升仿真与工艺研究[J].航空精密制造技术,2013(5):1-4. |
| 作者姓名： | 田野彭小强石峰胡皓 |
| 作者单位： | 1.国防科学技术大学机电工程与自动化学院410073; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
| 摘 要： | 为实现熔石英光学元件的高激光损伤阈值加工,研究了磁流变抛光+HF酸洗工艺提升阈值的过程。通过磁流变抛光+HF酸洗加工实验、测量表面缺陷形貌演变和有限时域差分算法(FDTD)仿真,认为该工艺改善破碎型缺陷,减弱光场调制作用,实现阈值的提升。 |
| 关 键 词： | 激光损伤阈值 熔石英 时域有限差分算法 磁流变抛光 |
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