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| 具有光学滤波器的光栅 | |
| 引用本文： | 范又功,张玮,张微元.具有光学滤波器的光栅[J].航空精密制造技术,1981(1). |
| 作者姓名： | 范又功 张玮 张微元 |
| 摘 要： | 随着科学技术的飞速发展,现代工业对一些零件的加工精度要求越来越高,因而对使用的数控设备和测量仪器等的精度和分辨率也提出了相应的要求,有的已达0.1微米,甚至更高。在这些设备中广泛地采用计量光栅作为检测元件。为了获得高的分辨率,增加光栅刻线的密度是一种方法,但是受到制造工艺和使用条件等的限制,所以计量光栅刻线只 |
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