一种使用硅片集成光路技术制造的干涉仪

一、绪言光学干涉仪为精密测量动态范围较大的位移提供了一种有效方式,其最简单的结构是图1所示的迈克尔逊干涉仪。在工业测量中,大部份干涉仪使用氦氖激光器作为光源,并由许多分离的玻璃元件如反射镜、分光镜等组成。这些元件的加工必须十分精密,其成本也十分昂贵。目前已经研制出一种在硅片上集成光路的技术。利用该技术制成的干涉仪具有以下优点: ·硅片具有较大的面积((?)152.4mm),并具有很好的光学质量及适中的价格; ·集成光路可按机械加工平面技术制造,而且这种技术早已被半导体工业所采用;