基于隧道效应的纳米级轮廓仪 |
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引用本文: | 李文菊,张鸿海,师汉民,陈日耀.基于隧道效应的纳米级轮廓仪[J].航空精密制造技术,1995(4). |
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作者姓名: | 李文菊 张鸿海 师汉民 陈日耀 |
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作者单位: | 华中理工大学机械学院 |
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摘 要: | 介绍了一种利用量子力学中隧道效应原理工作的纳米级轮廓仪.它可对直径为130mm的光盘、磁盘等较大工件表面直接进行测量,扫描范围为1×1~140×140μm2,X,Y方向扫描步长为1~800nm可调,横向分辨率达几个纳米,纵向分辨率优于1nm.利用该装置已测得精密光栅、精磨祥块、金刚石镜面车削等表面的纳米级形貌.
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关 键 词: | 隧道效应,纳米级轮廓仪,扫描隧道显微镜 |
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