氦质谱正压检漏新方法

氦质谱检漏是先进的检漏方法之一。“真空容器正压法”是为了适应航天产品活门自动器体积小、形面复杂、数量多等特点而开创的一种氦质谱检漏方法。它具有精度高、检测结果稳定、可靠性强等优点。可在其他类似特征的产品检漏上推广使用。文中着重介绍了“真空容器正压法”检漏的方法及技术特点。