| MEMS惯性技术的研究与应用综述 |
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| 引用本文： | 李丹东,严小军,张承亮. MEMS惯性技术的研究与应用综述[J]. 导航与控制, 2009, 8(2): 60-78 |
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| 作者姓名： | 李丹东 严小军 张承亮 |
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| 作者单位： | 北京航天控制仪器研究所,北京,100039;北京航天控制仪器研究所,北京,100039;北京航天控制仪器研究所,北京,100039 |
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| 摘 要： | MEMS技术是惯性技术未来主要的发展方向之一。本文介绍了国内外MEMS惯性仪表与系统的研究与应用概况，研究内容与关键技术，以及发展趋势。
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| 关 键 词： | 微机电系统 惯性仪表 惯性系统 |
Research and Application on MEMS Inertial Technology |
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| LI Dan-dong,YAN Xiao-jun and ZHANG Cheng-liang. Research and Application on MEMS Inertial Technology[J]. Navigation and Control, 2009, 8(2): 60-78 |
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| Authors: | LI Dan-dong YAN Xiao-jun ZHANG Cheng-liang |
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| Affiliation: | Beijing Institute of Aerospace Control Device;Beijing Institute of Aerospace Control Device;Beijing Institute of Aerospace Control Device |
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| Abstract: | MEMS is one of the main development directions of inertial technology in the future . This paper introduced domestic and international research and application status , research contents and key technique, and development trend of MEMS inertial sensor and system. |
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| Keywords: | MEMS inertial sensor inertial system |
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