| 硅微加速度计系统设计技术 |
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| 引用本文： | 邢朝洋,王巍,徐宇新,赵采凡. 硅微加速度计系统设计技术[J]. 导航与控制, 2009, 8(4): 66-70 |
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| 作者姓名： | 邢朝洋 王巍 徐宇新 赵采凡 |
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| 作者单位： | 北京航天时代光电科技有限公司,北京,100854;北京航天时代光电科技有限公司,北京,100854;北京航天时代光电科技有限公司,北京,100854;北京航天时代光电科技有限公司,北京,100854 |
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| 摘 要： | 本文探讨了硅微加速度计的系统设计方法，采用专用MEMS设计软件建立了“三明治”式硅微加速度计自顶向下的系统模型，该模型对于硅微加速度计的系统设计和优化具有指导意义。通过优化改进设计，目前硅微加速度计零位重复性已达到2×10-4g（3个月，1σ），正在开展探月二期工程的应用研究。
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| 关 键 词： | 硅微加速度计 系统级 仿真 |
System Design Method of MEMS Accelerometer |
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| XING Chao-yang,WANG Wei,XU Yu-xin and ZHAO Cai-fan. System Design Method of MEMS Accelerometer[J]. Navigation and Control, 2009, 8(4): 66-70 |
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| Authors: | XING Chao-yang WANG Wei XU Yu-xin ZHAO Cai-fan |
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| Affiliation: | Beijing Aerospace Times Optical-electronic Technology Co. Ltd;Beijing Aerospace Times Optical-electronic Technology Co. Ltd;Beijing Aerospace Times Optical-electronic Technology Co. Ltd;Beijing Aerospace Times Optical-electronic Technology Co. Ltd |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS accelerometer system level simulate |
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