| 一种基于高线性度弓形支撑梁的新型MEMS陀螺设计 |
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| 引用本文： | 梁新建,郑旭东,李丹东,薛旭,万蔡辛. 一种基于高线性度弓形支撑梁的新型MEMS陀螺设计[J]. 导航与控制, 2011, 0(3): 49-53 |
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| 作者姓名： | 梁新建 郑旭东 李丹东 薛旭 万蔡辛 |
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| 作者单位： | 北京航天控制仪器研究所;北京航天控制仪器研究所;北京航天控制仪器研究所;北京航天控制仪器研究所;北京航天控制仪器研究所 |
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| 摘 要： | 由于尺度效应带来的大变形问题,两端固支梁具有的硬弹簧效应将引发MEMS陀螺的非线性“达芬”振动,影响陀螺的线形度和稳定性.本文设计了一种新型高线性度弓形支撑梁,并通过数值仿真证明了弓形梁在大变形条件下也能保证力与位移转换环节间的线性关系.基于该高线性度弓形支撑梁创新性的设计了一种双级解耦MEMS陀螺,在常压下,该新型M...
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| 关 键 词： | 微机电陀螺 弓形梁 非线性振动 高线性度 |
A Novel Design of MEMS Gyroscope Based on High Linearity Bow-shaped Beam |
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| LIANG Xin-jian,ZHENG Xu-dong,LI Dan-dong,XUE Xu and WAN Cai-xin. A Novel Design of MEMS Gyroscope Based on High Linearity Bow-shaped Beam[J]. Navigation and Control, 2011, 0(3): 49-53 |
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| Authors: | LIANG Xin-jian ZHENG Xu-dong LI Dan-dong XUE Xu WAN Cai-xin |
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| Affiliation: | Beijing Institute of Aerospace Control Device;Beijing Institute of Aerospace Control Device;Beijing Institute of Aerospace Control Device;Beijing Institute of Aerospace Control Device;Beijing Institute of Aerospace Control Device |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS gyroscope bow-shaped beam nonlinear vibrations high linearity |
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