| 线性调频半导体激光衍射光栅干涉仪 |
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| 引用本文： | 刘君,郭彦珍.线性调频半导体激光衍射光栅干涉仪[J].宇航计测技术,1998,18(4):24-28,40. |
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| 作者姓名： | 刘君 郭彦珍 |
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| 作者单位： | 西安理工大学 |
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| 摘 要： | 介绍一种以线性调频半导体激光为光源的衍射光栅干涉仪。激光与光栅上衍射的±１级衍射波会合，由于有光程差而发生光拍频，测量拍频信号的相位移则可测得光栅的位移。设计了一种克服激光波长漂移和空气折射率变化影响的对称差动光路，使这种方法达到实用化的程度，分辨力达到纳米级。此外，还介绍了应用于接触干涉仪的实验情况。
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| 关 键 词： | 衍射光栅 激光干涉仪 半导体激光器 位移测量 |
A semiconductor laser diffraction grating interferometer with linear frequency modulation |
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| Liu Jun\ \ Go Yanzhen\ \ Yu Yinghua\ \ Qiu Zhongming.A semiconductor laser diffraction grating interferometer with linear frequency modulation[J].Journal of Astronautic Metrology and Measurement,1998,18(4):24-28,40. |
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| Authors: | Liu Jun\ \ Go Yanzhen\ \ Yu Yinghua\ \ Qiu Zhongming |
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| Institution: | Liu Jun\ \ Go Yanzhen\ \ Yu Yinghua\ \ Qiu Zhongming |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Diffraction grating Laser interferometer Semiconductor laser Displacement measurement |
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