压力温度石英传感器的优化设计

传感器ＣＡＤ是个崭新的研究领域,它改变了过去传统的经验、试凑等设计手段,目前国内在这方面研究才刚起步,国外的研究成果也不多见,作者分析了石英温度压力传感器基础理论后,提出了一种对该传感器的几何尺寸进行优化设计的ＣＡＤ方法。通过理论分析、建模和计算,达到了使Ｂ模的力频系数趋向于零,而Ｃ模的力频系数在一定系统下为最大的目标,最终计算结果表明：该方法行之有效,并对其他类型传感器的设计也有借鉴作用。