消除残余内应力提高惯性器件稳定性途径的初探

本文从“内应力破坏惯性器件的稳定性”观点出发,着重在生产过程中对平台的精密零件,组件和元件采用消除内应力的稳定处理,获得了较好的效果。对稳定处理工艺方法也作了较详细的阐述。