| 多晶硅沉淀的灰色分析 |
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| 引用本文： | 吴兆奇,吴晓明.多晶硅沉淀的灰色分析[J].沈阳航空工业学院学报,1999,16(3):72-76. |
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| 作者姓名： | 吴兆奇 吴晓明 |
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| 作者单位： | 承德教育学院(吴兆奇，张阁玉)，沈阳航空工业学院基础部(吴晓明) |
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| 摘 要： | 本文给出了灰色信噪比的定义，并将其用于多晶硅沉淀的数据分析，使表面缺陷和沉淀厚度在最佳条件下试验结果与灰色预估值更符合。
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| 关 键 词： | 多晶硅沉淀 灰色信噪比 超大规模 集成电路 |
Grey Analysis of Polycrystalline Silicon Precipitation |
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| Wu Zhaoqi,Zhang Geyu,Wu Xiaoming.Grey Analysis of Polycrystalline Silicon Precipitation[J].Journal of Shenyang Institute of Aeronautical Engineering,1999,16(3):72-76. |
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| Authors: | Wu Zhaoqi Zhang Geyu Wu Xiaoming |
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| Institution: | Wu Zhaoqi;Zhang Geyu;Wu Xiaoming |
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| Abstract: | This paper gives a definition for Grey Signal - to - noise Ratio and applies it to the data analysing of Polycrystalline silicon precipitation. It makes the experiment results of surface defect and sediment thick to accord better with grey assessing. |
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| Keywords: | polycrystalline silicon precipitation Grey Signal-to-noise Ratio grey assessing |
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