| 等离子体表面技术的研究与应用 |
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| 引用本文： | 毛国强,卫中山.等离子体表面技术的研究与应用[J].航空精密制造技术,2002,38(4):7-11. |
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| 作者姓名： | 毛国强 卫中山 |
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| 作者单位： | 1. 郑州烟草研究院机电工程部,郑州,450000
2. 南京航空航天大学机电学院,南京,210016 |
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| 摘 要： | 概述了离子注入、离子束沉积、等离子喷涂、离子镀、等离子体增强化学气相沉积、等离子体化学热处理和双层辉光离子渗金属等等离子体表面技术的基本原理和最新进展,并给出了部分典型实例。
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| 关 键 词： | 等离子体 表面技术 |
| 文章编号： | 1003-5451(2002)04-07-05 |
| 修稿时间： | 2002年1月24日 |
Research and Applications on Plasma Surface Techniques |
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| Mao Guoqiang,Wei Zhongshan.Research and Applications on Plasma Surface Techniques[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2002,38(4):7-11. |
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| Authors: | Mao Guoqiang Wei Zhongshan |
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| Institution: | Mao Guoqiang1,Wei Zhongshan2 |
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| Abstract: | The essential principle, the latest development and some typical ap plications of plasma surface technology are discussed, such as ion implantation, ion beam deposition, plasma arc sputtering, ion plating, plasma enhanced chemi cal vapor deposition, plasma chemical heat treatment and double glow surface all oying some typical examples are given. |
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| Keywords: | plasma surface technology |
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