膜层厚度连续重复最佳化的光学薄膜制备 |
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引用本文: | C.Holm,胡传霖.膜层厚度连续重复最佳化的光学薄膜制备[J].航空精密制造技术,1980(2). |
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作者姓名: | C.Holm 胡传霖 |
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摘 要: | 由于各种原因,在制作光学多层膜系时,各层的厚度都偏离理想数值,结果常常造成滤波器性能不佳。本文介绍以监控单色透射率为基础,在一定程度上补偿这些误差的无吸收多层膜镀制方法。在各层膜沉积之后,计算机程序给出实际监控数据,根据这些数据推导出膜层的厚度。之后,通过其余层的厚度变化,计算程序可使系统性能最佳化。我们对在玻璃上制作的七层中性分光镜进行了数字和试验研究。本文提供在玻璃上镀 AR 层的理
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