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| 一种新的微型表面微机械隧道式加速度计 | |
| 引用本文： | Kube.,RL 吴涛.一种新的微型表面微机械隧道式加速度计[J].惯导与仪表,1997(4):15-18. |
| 作者姓名： | Kube. RL 吴涛 |
| 摘 要： | 作者已征税出一种新的微型表面微机械隧道式加速度计。加速度计的结构是在单晶硅片上产生出来的，由含有静电偏转电极的单个悬臂梁及其下面的隧道式顶部组成。在空气中，１００μｍ和２５０μｍ长的悬臂梁的噪声分辨率在５００Ｈｚ条件下分别为８．３×１０＾－４ｇ／Ｈｚ＾１／２和８．５×１０＾－５ｇ／Ｈｚ＾１／２。该器件使用一种低噪声自动伺服控制电路，以力再平衡伺服状态工作，所提供的动态量程为１０＾４ｇ。这种新的加速 |
| 关 键 词： | 微型表面 加速度计 微机械隧道式 |
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