| 提高UV-LIGA制备金微细零件的尺寸精度研究(英文) |
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| 引用本文： | 曲宁松,苏兴,李寒松,曾永彬.提高UV-LIGA制备金微细零件的尺寸精度研究(英文)[J].南京航空航天大学学报(英文版),2012,29(4):325-330. |
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| 作者姓名： | 曲宁松 苏兴 李寒松 曾永彬 |
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| 作者单位： | 南京航空航天大学机电学院,南京,210016,中国 |
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| 基金项目： | the National Natural Science Foundation of China (91023018).国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 在众多影响UV-LIGA(Ultra-violet lithography Galvanik abformung)技术制备微细金属零件尺寸精度的因素中,SU-8胶溶胀性是最主要的。通常采用隔离带方法降低SU-8胶的溶胀性,以提高电铸微细零件的尺寸精度。由于贵重金属会沉积到隔离带内,造成了贵重金属的浪费,增加制造成本,因此该方法不适合贵重金属微细零件制造。针对隔离带方法的弊端,提出了半隔离带方法,在保证电铸微细金属零件尺寸精度的前提下,避免了贵重金属的浪费。另外,还采用电解液喷射方法实现了高电流密度电铸,缩短了电铸时间,进一步提高了电铸微细金属零件的尺寸精度。试验结果表明:采用半隔离带方法和高电流密度,可以有效提高金微细零件的尺寸精度,当电流密度提高到0.6A/dm2,金微细零件的尺寸精度可以达到5μm。
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| 关 键 词： | UV-LIGA 微细电铸 微细零件 尺寸精度 SU-8胶溶胀 |
IMPROVEMENT OF DIMENSIONAL ACCURACY FOR GOLD MICROPART PREPARED BY UV-LIGA |
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| Qu Ningsong
,
Su Xing
,
Li Hansong
,
Zeng Yongbin.IMPROVEMENT OF DIMENSIONAL ACCURACY FOR GOLD MICROPART PREPARED BY UV-LIGA[J].Transactions of Nanjing University of Aeronautics & Astronautics,2012,29(4):325-330. |
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| Authors: | Qu Ningsong Su Xing Li Hansong Zeng Yongbin |
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| Institution: | (College of Mechanical and Electrical Engineering,Nanjing Univ ersity of Aeronauticsand Astronautics,Nanjing,210016,P.R.China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ultra-violet lithography galvanik abformung (UV-LIGA) microelectroforming micropart dimensional accuracy swelling of SU-8 structure |
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