用椭圆偏光法对氧化铅薄膜厚度测量的初步探讨 |
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引用本文: | 范子坤
,华明.用椭圆偏光法对氧化铅薄膜厚度测量的初步探讨[J].航天制造技术,1986(3). |
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作者姓名: | 范子坤 华明 |
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摘 要: | 薄膜隧道型约瑟夫逊结在精密测量,微波及计算机等方面有着广泛的应用,这种结的制作关键是形成一个厚度合适、质量好的氧化层作势垒,铅薄膜隧道型约瑟夫逊结的氧化铅膜厚度为10~30A。因此对氧化铅膜厚度的测量和性质的研究有着重要的实际意义。本文对测量氧化铅薄膜的厚度的椭圆偏光法进行了探讨。提出了两种测量铅膜复数折射率的方法。作出了测量氧化铅薄膜厚度用的(n,d)~((?),△)数据表。进而对铅膜分别在空气中和一个大气压的高纯氧中的氧化规律进行了研究。
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