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第四届国际固态敏感元件与作动器会议
作者姓名:宋宗炎
作者单位:航天部遥测技术研究所
摘    要:本文简要介绍了1987年6月在日本东京举行的第四届国际固态敏感元件与作动器会议的概况。文中阐明了由于微电子技术的发展,在传统的传感器领域内开拓出来的这个新的领域近十年来的发展特点与水平,同时指出了当前国际仪表传感器行业中共同关心的问题。最后文章还指出了传统的结构型传感器的未来发展,并对国内发展固态传感器提出了一些建议。

关 键 词:固态传感器  敏感元件  微细加工技术  微电子技术  接口电路
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