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钛合金阳极氧化膜的XPS研究
引用本文:杜志惠, 崔振铎, 朱胜利, 杨贤金.钛合金阳极氧化膜的XPS研究[J].宇航材料工艺,2009,39(6).
作者姓名:杜志惠  崔振铎  朱胜利  杨贤金
作者单位:1. 航天材料及工艺研究所,北京,100076;天津大学材料科学与工程学院,天津,300072
2. 天津大学材料科学与工程学院,天津,300072
摘    要:利用XPS分析了TCA钛合金经阳极氧化处理后,表面氧化膜的成分和结构及其随深度的变化.研究表明,钛合金阳极氧化膜表面为单一的TiO_2,并以晶态和非晶态的形式存在于氧化膜中.随着氧化膜厚度的增加,内部氧化越来越不充分,TiO_2的含量减少,并逐渐出现Ti:O_3、TiO;并且阳极氧化处理明显增厚了表面氧化膜.

关 键 词:钛合金  阳极氧化

XPS Study of Anodic Oxide Film on Ti Alloy
Du Zhihui,Cui Zhenduo,Zhu Shengli,Yang Xianjin.XPS Study of Anodic Oxide Film on Ti Alloy[J].Aerospace Materials & Technology,2009,39(6).
Authors:Du Zhihui  Cui Zhenduo  Zhu Shengli  Yang Xianjin
Abstract:Surface elements and valence state of the anodic oxide films on Ti6Al4V (TC4) alloy were investigated by X - ray photoelectron spectroscopy (XPS). The results show that the surface of the oxide films of TC4 alloy is uniform TiO_2, and it exists in oxide films in crystal or non-crystal state. As the thickness of the oxide films is increasing,the oxidation inside and the TiO_2 content become less and less,Ti_2O_3 and TiO appear gradmally and the thickness of surface oxide film after anodic oxidation is evidently increased.
Keywords:XPS  Titanium alloy  Anodic oxide film  XPS
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