|
|||||
|
|
| 高精密和超精密机床 | |
| 引用本文： | 张曙,卫汉华,谭惠民,黄仲明.高精密和超精密机床[J].航空制造技术,2012(9):40-44. |
| 作者姓名： | 张曙 卫汉华 谭惠民 黄仲明 |
| 作者单位： | 同济大学现代制造技术研究所;香港理工大学工业中心 |
| 摘 要： | 随着航空航天、精密仪器、光学和激光技术的迅速发展,以及人造卫星姿态控制和遥测器件、光刻和硅片加工设备等各种高精度平面、曲面和复杂形状零件的加工需求日益迫切,超精密加工的应用范围日益扩大。它的特点是可以直接加工出具有纳米级表面光洁度和亚微米级形面精度的表面,借以实现各种优化的、高成像质量的光学系统,并促使光学电子设备的小型化、阵列化和集成化。 |
| 关 键 词： | 超精密机床 超精密加工 卫星姿态控制 高精度加工 光学器件 激光技术 切削加工 光学系统 零件 应用范围 |
High Precision and Ultra Precision Machine Tool |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |