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高精度电容式三维发讯测微仪
作者姓名:郑义中
作者单位:天津大学精密仪器系
摘    要:主要叙述用电容式传感器作为三座标测量机发讯测头的工作原理,并将其在动态测试过程中的基本测微方法作一简单介绍。

关 键 词:电容式传感器  座标量测仪  监测  非接触测量  理论
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