微机电系统的国防应用及制造技术发展述评(上) |
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作者姓名: | 饶勤 |
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作者单位: | 中国航空信息中心 |
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摘 要: | 微机电系统技术是国示上80年代后期以来发展迅速的一项新兴高技术,现在和潜在应用说明它将对国防武器装备产生重大影响,微机机械制造技术和封装,组装,测试技术是微机电系统赖以发展的基础,目前,许多工业发展发达国家已将微机电系统及其制造技术列为本世纪末和21世纪初国家重点支持和发展的关键技术,本文集中对国防应用有重要意义的微机电系统及其制造技术。
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关 键 词: | 微机电系统 制造技术 封装技术 航空工艺 |
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