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| 利用真空电子隧道效应制造高灵敏度加速度计 | |
| 引用本文： | 夏建弘.利用真空电子隧道效应制造高灵敏度加速度计[J].宇航计测技术,1992(2):67-69. |
| 作者姓名： | 夏建弘 |
| 作者单位： | 清华大学 高级工程师 |
| 摘 要： | 近几十年来,电子隧道器件一直用于电磁辐射信号检测、微波信号源数字开关等方面。介绍了隧道传感器的原理、概念以及利用隧道效应原理制造的加速度计,并给出了实验结果。 |
| 关 键 词： | 真空电子隧道效应 隧道传感器 隧道加速度计 压电悬梁执行器 |
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