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| 共焦检测型扫描光学系统 | |
| 引用本文： | 周菊芳.共焦检测型扫描光学系统[J].航空精密制造技术,1993(6). |
| 作者姓名： | 周菊芳 |
| 摘 要： | 介绍一种用于亚微米尺寸测量的混合型激光扫描光学系统。该扫描光学系统是将具有不同偏转角度特性、向同一方向扫描的AOD(声光式偏转器)和GM(电控反射镜)两个扫描元件配置在同一光路中。当驱动一个扫描元件时,另一个扫描元件停止动作,两者动作是互补的。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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