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| 探测空间原子氧环境的锇膜电阻传感器技术研究 | |
| 引用本文： | 刘向鹏,童靖宇,贾铮,姜利祥,李涛.探测空间原子氧环境的锇膜电阻传感器技术研究[J].航天器环境工程,2009,26(Z1). |
| 作者姓名： | 刘向鹏 童靖宇 贾铮 姜利祥 李涛 |
| 作者单位： | 1. 北京卫星环境工程研究所,北京,100094 2. 哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001 |
| 摘 要： | 原子氧密度传感器可以测量原子氧的通量密度和积分通量.锇膜电阻是一种小型的、价格低廉的测量轨道原子氧束流密度的传感器,由于尺寸小、重量轻使其可以用在大部分航天器上,增加了飞行的机会.文章对北京卫星环境研究所采用电镀法及紫外线光刻和金属刻蚀微加工技术制备锇膜电阻的研究情况进行了介绍. |
| 关 键 词： | 原子氧 锇膜电阻 传感器 空间探测 |
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