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| 超精密平面磨床设计中的关键技术 | |
| 引用本文： | 杨辉.超精密平面磨床设计中的关键技术[J].航空精密制造技术,1996(5). |
| 作者姓名： | 杨辉 |
| 作者单位： | 中国航空精密机械研究所 |
| 摘 要： | 介绍了超精密平面磨床设计中的主要关键技术．主轴及Ｘ．Ｙ．Ｚ轴导轨均采用了气体静压成液体静压轴承，采用误差补偿技术对Ｘ．Ｙ轴导轨误差进行补偿，三轴均由ＣＮＣ系统控制．设计了分辨率为０．０１μｍ的砂轮特殊微量进给装置，并应用了砂轮电解在线修整（ＥＬＩＤ）技术． |
| 关 键 词： | 超精密平面磨床，砂轮电解在线修整 |
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