超精密平面磨床设计中的关键技术 |
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引用本文: | 杨辉.超精密平面磨床设计中的关键技术[J].航空精密制造技术,1996(5). |
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作者姓名: | 杨辉 |
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作者单位: | 中国航空精密机械研究所 |
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摘 要: | 介绍了超精密平面磨床设计中的主要关键技术.主轴及X.Y.Z轴导轨均采用了气体静压成液体静压轴承,采用误差补偿技术对X.Y轴导轨误差进行补偿,三轴均由CNC系统控制.设计了分辨率为0.01μm的砂轮特殊微量进给装置,并应用了砂轮电解在线修整(ELID)技术.
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关 键 词: | 超精密平面磨床,砂轮电解在线修整 |
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