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干涉法测量膜厚技术现状
引用本文:
张豚,范志刚.干涉法测量膜厚技术现状[J].宇航计测技术,1997,17(2):36-41.
作者姓名:
张豚
范志刚
作者单位:
哈尔滨工业大学
摘 要:
介绍了几种测量膜厚的干涉测量方法,对各种测量方法进行了分类,分析了各种测量方法的特点及参达到的技术指标。
关 键 词:
干涉测量
厚度测量
薄膜
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