| 梁式硅微机械陀螺结构的研究 |
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| 作者姓名： | 韩竞科 王东红 陈伟平 蓝慕杰 王喜莲 王蔚 于杰 |
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| 作者单位： | 洽尔滨工业大学微电子中心!哈尔滨150001(韩竞科，王东红，陈伟平，蓝慕杰，王喜莲，王蔚)，哈尔滨工业大学分析测试中心!(于杰) |
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| 摘 要： | 通过分析梁式硅微机械陀螺的原理 ,确定了其结构参数。介绍制造工艺流程 ,完成了器件的制作 ,并测试出其工作谐振频率。
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| 关 键 词： | 陀螺 哥氏力 微机械 微机电系统 |
Study on the Structure of the Si Micromechanical Gyroscope with Cantilever Beam |
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| Authors: | Han Jingke Wang Donghong Chen Weiping Lan Mujie Wang Xilian Wang Wei |
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| Institution: | Han Jingke Wang Donghong Chen Weiping Lan Mujie Wang Xilian Wang Wei |
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| Abstract: | The structrual apparatuees of the cantilever beam type Si micromechanical gyroscope are determined through analyzing it's principle.The fabrication processing of this type gyroscope is introduced. The device is finished and it's resonant frequency is measured. |
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| Keywords: | Gyroscope Coriolis'force Micromechanics MEMS |
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