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热气泡微机械加速度计
作者姓名:
冯惠明(译)
摘 要:
本文论述了一种以热气泡为主的微机械加速度计,技术上不同点在-t-]s~速度计中唯一可移动的元件是一个小的热气泡,在微型舱体中用高磁通量的加热器蒸发液体产生了该热气泡。分析和讨论了该传感器的基本物理特征,包括热量传递和液体流动。用数字仿真验证上述加速度计特性,并用特殊的测试设备演示该性能,其结果是响应良好,灵敏度高。
关 键 词:
微机械加速度计
气泡
液体流动
物理特征
热量传递
仿真验证
测试设备
可移动
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