微机械加工石英角速率传感器

石英音叉振荡器式角速率传感器基于柯里奥利效应。柯氏效应所产生的力将音叉（结构元件）的振动线性运动变成为拒，这力短调制振荡频率，经解调，产生一个正比于输入角速率的直流电压。本传感器用微机械加工制成，长期稳定性好，加工精度很高。其MTBF长达100000小时．也很便宜，有着广泛应用——测试、控制和导航。文中给出结构、电路及应用例，同时给出设计中应考虑的问题。